LED/사파이어 웨이퍼 세정기

제품코드	G050067
판매 회사명	듀라소닉
연락처	031-684-5489
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/durasonic

Overview

• 사파이어 웨이퍼 Slicing공정 후에 웨이퍼에
  묻어있는 슬러리,오일성분 및 잔여물을 세정한다.

제품특징

• 전자동 방식으로 대량 웨이퍼 세척이 가능
• 다조식 방식의 여러단계의 초음파 세척
  및 린스공정을 통해 웨이퍼 세척 및 건조
• 최적화된 시스템 구성으로 효율적인 세제 및 폐수관리가 가능
• 사용환경에 따라 최적의 프로그램 변경 (User's Interface)

세부사양

Model	Sapphire Wafer Cleaner (After Slicing)
세척대상물	사파이어 웨이퍼 2 ~ 8 inch size 43 Micro 외
세척공정	초음파 세척 및 린스
구동부	UP/DOWN, 자동이송
Capa	300~500pcs/hr
Tack Time	10분
옵션	Auto Dosing Unit 외
조작반	10 inch Touch 판넬
안전장치	Over / Level / Limit sensor and Interlock

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G050067] LED/사파이어 웨이퍼 세정기