정밀초음파 세정

제품코드	G050069
판매 회사명	듀라소닉
연락처	031-684-5489
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/durasonic

Overview

• 고주파를 사용하여 세정대상물에 damage를 주지 않고 미세한 이물질을 제거한다.

제품설명

• 독립적인 세정시스템으로 기존의 생산라인에 쉽게 적용할 수 있다.
• 반도체 공정 및 초정밀세정을 요하는 제품에 사용
• 45nm급 이상 오염물 제거
• 200mm ,300mm Wafer, HDD, Glass 등 반도체 공정사용
• CE 인증 by TUV Rheinland

발진기특성

• 디지털회로를 적용하여 0.1Watt단위의 출력을 자동으로 조정하고 표시한다.
• 외부의 통신(RS485)에 의해 출력의 제어 및 표시가 가능하다.
• 넓은 LCD창을 통하여 발진기 상태를 쉽게 알수 있다.
• 전면의 Function키를 이용하여 쉽게 출력, 통신모드등을 설정할 수 있다.
• 상/하한 출력 리미트 설정을 통하여 출력의 변동에 의한 세정대상물의 데미지 및 세정불량을 방지할 수 있다.
• 발진기 및 진동자의 이상을 경보하고 통신 및 접점에 의해 출력한다.

세부사양

형식	DURAMEGA 300	DURAMEGA 600
동작 주파수	975kHz ± 10%
발진 방식	펄스 오실레이터에 의한 위상동기 방식
출력	Max. 300Watt	Max. 600Watt
출력 조정	10~100% , 자기 출력 조정 (Auto Turning)
	5단 출력 조정 (24VDC 외부 전원 인가)
전원 사양	200~240Vac , 50/60Hz
Rated 전류	4A	6A
표시창	LCD (back Light) 표시 및 설정 : 주파수, 출력, 기타 상태, 통신속도 등 표시
경보	2 port ( 출력 리미트), 기타 알람 : RS485통신
크기 (mm)	284 (W) x 367 (L) x 150 (H)	355 (W) x 485 (L) x 150 (H)
중량 (kg)	약 11kg	약 14kg

진동판특징

• 균일한 초음파의 음압으로 세정대상물에 Damage가 없습니다.
• 평면 PZT소자를 채용하여 유효면적내 균일한 음압을 유지합니다.
• 세정대상물의 요구출력조건에 따라 설정된 출력을 유지합니다.
• 기계강도가 크고 음향손실이 거의 없어 고효율로 긴수명을 가지고 있습니다.
• SUS304, SUS316L, 쿼츠등에 적용이 가능합니다.

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G050069] 정밀초음파 세정