태양광 웨이퍼 세정기

제품코드	G050065
판매 회사명	듀라소닉
연락처	031-684-5489
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/durasonic

Overview

• Pre 세정 후 웨이퍼를 준비된 카세트에 담아
  세정, 린스, 건조공정이 진행된다.

제품특징

• 전자동 방식으로 대량 웨이퍼 세척이 가능
• 다조식 방식의 여러단계의 초음파 세척 및 린스공정을
  통해 웨이퍼 세척 및 건조
• 최적화된 시스템 구성으로 효율적인 세제 및 폐수관리가 가능
• 사용환경에 따라 최적의 프로그램 변경 (User's Interface)

세부사양

Model	Solar Wafer Finer Cleaner
세척대상물	SI 웨이퍼 (단결정 혹은 다결정) 156 X 156 mm (6인치) 외 180 Micro 외
세척공정	초음파 세척 및 린스
건조공정	열풍건조
구동부	Robot 이송
Capa	50MW 기준
Tack Time	5분
옵션	Auto Dosing Unit 외
조작반	10 inch Touch 판넬
안전장치	Over / Level / Limit sensor and Interlock

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G050065] 태양광 웨이퍼 세정기