반도체장비

제품코드	G046432
판매 회사명	에스에프에이
연락처	031-379-7412
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/sfaeng

반도체용 Metal 전극을 증착하는 클러스터 방식의 스퍼터
- 기판 Size : 300mm - 고효율 Target Efficiency의 Magnetron Cathode 적용
공정장비영업3팀 김형보 부장 041-539-6935 khb@sfa.co.kr   다양한 반도체용 금속 증착 연구용 스퍼터링 장비 (금속 또는 TCO 증착)   플라즈마 제어 기술 고진공 관련 (흡기/배기) 기술 기판 고속 이송 기술 열 유동 제어 기술 전자기장 해석 기술    반도체 용 Metal (Ti, Cu) 증착   기판 Size : 300mm Tact Time : ≤ 45sec/substrate Target Efficiency : ≥ 30% Film Uniformity : ≤ ±3% Throughput : ≥ 55wafer/hr

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G046432] 반도체장비