웨이퍼 두께 측정기
에어 서보식 웨이퍼 두께 측정 전용
본 제품은 에어 서보식 웨이퍼 두께 측정 전용 시스템으로 12인치, 중앙 1점, 외주 4점의 5개소를 측정할 수 있는 사양을 갖고 있다.
특징으로는 에어에 의한 비접촉 부분에도 측정이 가능하고 웨이퍼 이 외의 글라스 측정도 가능한데 단, 두께가 700㎛ 이상 필요하다.
또한 측정범위가 8.5mm의 긴 스트로크를 자랑하며 각 측정 데이터는 PC에 전송 가능한 옵션기능도 장착되어 있으며 각 인치에 핀의 교체 세팅도 용이하다는 장점을 지니고 있다.
젠트
TEL:(055)346-6663
FAX:(055)346-6664
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