반도체제조용 Furnace

제품코드	G046048
판매 회사명	(주)피앤테크
연락처	043-211-3917
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/p-tech2000

PF-D82 Furnace System

Solar Cell Process Application - POCl3 - BBr3 - N2/H2 Annealing - Oxidation

PF-D82 Series System Features

 - Wafer size : 125mm * 125mm, 156mm * 156mm

-  Load Capacity : 1~75 Wafers / Tube
-  Thermal uniformity  accuracy :
   * Between 400℃ and 800℃ ±1℃
   * Between 800℃ and 1150℃ ±0.5℃
-  Ramp rate : 0.1~ 25℃ per minute

-  Operating temperature range : 400℃ ~ 1150℃
-  Boat  Speed : 3~125 cm / minute
-  3 Zone  by Spikes and  Profile T/C

-  Cantilever or  Softland  Type

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G046048] 반도체제조용 Furnace