시리즈명 | P1(MPa) | P2(MPa) | 유량 | 재질 | 구조 | 비고 |
L10 | | 14.8 | 0 ~ 0.99 | 30NL/min P1=8MPa P2=0.15MPa
| SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | · 소형경량 |
L15 | | 6 | 0 ~ 0.99 | 10NL/min P1=1MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | · 소형경량 · N2O,Cℓ2 사양 있음 |
L18 | | 0.99 | 0 ~ 0.6 | 20NL/min P1=0.99MPa P2=0.4MPa | SUS316L 진공이중 용해재 | 1단식니들변 Metal Seal | · 1.5″ 프록Type |
L20 | | 14.8 | 0 ~ 0.99 | 60NL/min P1=8MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | |
L25 | | 6 | 0 ~0.99 | 20NL/min P1=1MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | · N2O,Cℓ2 사양 있음 |
L35 | | 6 | 0 ~ 0.9 | 100NL/min P1=1MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | · N2O,Cℓ2 사양 있음 |
L61 | | 14.8 | 0 ~ 0.8 | 300NL/min P1=8MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 1단식평면 Seal변 Metal Seal | |
L81 | | 14.8 | 0 ~ 0.6 | 25NL/min P1=2MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 2단식니들변 Metal Seal | · N2O,Cℓ2 사양 있음 · 중간Set압력: 0.99MPa |
L88 | | 14.8 | 0 ~ 0.99 | 25NL/min P1=8MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 2단식평면 Seal변 Metal Seal | · B2H6용, NF3용 · 중간 Set압력: 3MPa |
LH1 | | 6 | 0 ~ 0.8 | 500NL/min P1=1MPa P2=0.5MPa | SUS316L | 1단식평면 Seal변 Metal Seal | |
LH2 | | 6 | 0 ~ 0.8 | 500NL/min P1=1MPa P2=0.5MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | N2O,Cℓ2 사양 있음 |
LL1 | | 2 | 0 ~ 0.8 | 1000NL/min P1=1MPa P2=0.15MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | |
L96 | | 0.99 | -0.1 ~0~ 0.2 | 5NL/min P1=대기압 P2=-0.01MPa | SUS316L | 1단식니들변 Metal Seal | 절대압 압력 조정기 |
LS2 | | 2 | 0 ~ 0.6 | 20NL/min P1=1MPa P2=0.15MPa | SUS316L | Springless 니들변 Metal Seal |